O le mamanu faʻapitoa e iai le tele o faʻaoga i le semiconductor field. I totonu o se masini photolithography, o le masini faʻapipiʻi e nafa ma le taulaʻi atu o le ave moli e faʻaosoina e le faʻapogai o le moli ma faʻapipiʻi i luga o le faʻamaʻi silikoni e faʻaalia ai le mamanu o le taamilosaga. O le mea lea, o le mamanu ma le faʻaogaina o mea faʻapitoa i le photolithography system o se auala taua lea e faʻaleleia ai le faʻatinoga o le masini photolithography. O nisi nei o vaega opitika o lo'o fa'aogaina i masini ata:
Fuafuaga fa'atatau
01 O le fa'amoemoega fa'atatau o se vaega fa'apitoa fa'apitoa i totonu o se masini lithography, e masani ona aofia ai se fa'asologa o tioata e aofia ai tioata fa'apipi'i, tioata pupuni, ma prisms.
02 O lona aoga o le fa'aitiitiga o le mamanu o le ta'amilosaga i luga o le ufimata ma taula'i i luga o le wafer ua ufiufi i le photoresist.
03 O le saʻo ma le faʻatinoga o le faʻamoemoega o loʻo i ai se aafiaga taua i le fofo ma ata o le masini lithography.
Fa'ata
01 Fa'atae fa'aaogaina e sui ai le itu o le malamalama ma fa'atonu i le nofoaga sa'o.
02 I masini lithography EUV, fa'ata e taua tele ona o le EUV malamalama e faigofie ona mitiia e mea, o lea e tatau ai ona fa'aoga fa'ata e maualuga le fa'ata.
03 O le saʻo ma le mautu o le faʻaaliga o loʻo i ai foi se aafiaga tele i le faʻatinoga o le masini lithography.
Filifiliga
01 Filters e faʻaaogaina e aveese ai galu e le manaʻomia o le malamalama, faʻaleleia le saʻo ma le lelei o le photolithography process.
02 I le filifilia o le faamama talafeagai, e mafai ona faʻamautinoa e naʻo le malamalama o se galu faʻapitoa e ulu atu i le masini lithography, ma faʻaleleia atili ai le saʻo ma le mautu o le faagasologa o le lithography.
Prisms ma isi vaega
E le gata i lea, e mafai foi e le masini lithography ona faʻaogaina isi vaega faʻapitoa fesoasoani, e pei o prisms, polarizers, ma isi, e faʻafetaui ai manaʻoga faʻapitoa o le lithography. O le filifilia, mamanu ma le gaosiga o nei vaega opitika e tatau ona mulimulitaʻia tulaga faʻapitoa faʻapitoa ma manaʻoga e faʻamautinoa ai le maualuga ma le lelei o le masini lithography.
I se aotelega, o le faʻaogaina o vaega faʻapitoa i le matata o masini lithography e faʻamoemoe e faʻaleleia le faʻatinoga ma le gaosiga lelei o masini lithography, ma lagolagoina ai le atinaʻeina o le gaosiga o gaosiga microelectronics. Faatasi ai ma le faʻaauauina o le atinaʻeina o tekinolosi lithography, o le faʻaleleia ma le faʻafouina o vaega faʻapitoa o le a maua ai foi le gafatia sili atu mo le gaosiga o meataalo e sosoo ai.
Mo nisi faʻamatalaga ma fautuaga faʻapitoa, asiasi i la matou upega tafaʻilagi ihttps://www.jiujonoptics.com/e aoao atili e uiga ia tatou oloa ma fofo.
Taimi meli: Ian-02-2025
